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申请/专利权人：株式会社尼康
申请日：2021-09-13
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118265599A
主分类号：B29C64/188
分类号：B29C64/188;B23K26/34;B23K26/342;B33Y30/00;B29C64/153;B29C64/227
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明的加工系统具备：第1加工装置，通过照射第1能量束而在第1加工区域中进行增材加工；第2加工装置，通过照射第2能量束而在第2加工区域中进行去除加工；第1及第2载置装置，供进行增材加工及去除加工；位置变更装置，使第1及第2载置装置在第1与第2加工区域之间相对移动；及第1及第2光接收装置，分别配置在第1及第2载置装置；第1及第2光接收装置分别能够接收第1及第2能量束的至少一个，根据第1光接收装置的光接收结果获取与第1载置装置的位置相关的信息，并根据第2光接收装置的光接收结果获取与第2载置装置的位置相关的信息。
主权项：1.一种加工系统，具备：第1加工装置，通过照射第1能量束而在第1加工区域中进行增材加工；第2加工装置，通过照射第2能量束而在第2加工区域中进行去除加工；第1载置装置，供进行所述增材加工及所述去除加工的至少一个；第2载置装置，供进行所述增材加工及所述去除加工的至少一个；位置变更装置，能够以所述第1载置装置及所述第2载置装置分别在所述第1加工区域与所述第2加工区域之间相对移动的方式，变更所述第1加工装置及所述第2加工装置的各个与所述第1载置装置及所述第2载置装置的各个的位置关系；第1光接收装置，配置在所述第1载置装置；及第2光接收装置，配置在所述第2载置装置；所述第1光接收装置具有能够接收所述第1能量束及所述第2能量束的至少一个的第1光接收部，所述第2光接收装置具有能够接收所述第1能量束及所述第2能量束的至少一个的第2光接收部，且根据所述第1光接收部的光接收结果获取与所述第1载置装置的位置相关的信息，并根据所述第2光接收部的光接收结果获取与所述第2载置装置的位置相关的信息。
全文数据：
权利要求：
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