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申请/专利权人：细美事有限公司
申请日：2023-10-20
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263149A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/02
优先权：["20221226 KR 10-2022-0185008"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本公开涉及一种基板加工装置和方法。该基板加工装置包括第一干燥单元，该第一干燥单元配置为在其上形成有液膜的基板上使用干燥流体执行第一干燥工艺；第一流体供应单元，该第一流体供应单元配置为将干燥流体供应到第一干燥单元；第二干燥单元，该第二干燥单元配置为在其上执行第一干燥工艺的基板上使用干燥流体执行第二干燥工艺；第二流体供应单元，该第二流体供应单元配置为将干燥流体供应到第二干燥单元；第一门，该第一门配置为控制第一干燥单元的打开和关闭；以及第二门，该第二门配置为控制第二干燥单元的打开和关闭，其中当第一干燥单元中的压力达到第一传送压力时打开第一门，并且当第二干燥单元中的压力达到第二传送压力时打开第二门。
主权项：1.一种基板加工装置，所述基板加工装置包括：第一干燥单元，所述第一干燥单元配置为在其上形成有液膜的基板上使用干燥流体执行第一干燥工艺；第一流体供应单元，所述第一流体供应单元配置为将所述干燥流体供应到所述第一干燥单元中；第二干燥单元，所述第二干燥单元配置为在其上执行所述第一干燥工艺的所述基板上使用所述干燥流体执行第二干燥工艺；第二流体供应单元，所述第二流体供应单元配置为将所述干燥流体供应到所述第二干燥单元中；第一门，所述第一门配置为控制所述第一干燥单元的打开和关闭；以及第二门，所述第二门配置为控制所述第二干燥单元的打开和关闭，其中当所述第一干燥单元中的压力达到第一传送压力时打开所述第一门，并且当所述第二干燥单元中的压力达到第二传送压力时打开所述第二门。
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