龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：芝浦机械电子装置株式会社
申请日：2023-12-22
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263158A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/02
优先权：["20221226 JP 2022-208532","20231117 JP 2023-196211"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，其能够将残留于板的相向面的处理液去除而保持板的清洁度。实施方式的基板处理装置1具有：旋转体10，使基板W旋转；处理液供给部411，向基板W供给处理液Le；板50，与被处理面相向；加热部60，对处理液Le进行加热；以及清洗部90，对板50的相向面51进行清洗，清洗部90具有：供液部92，向相向面51供给清洗液Lp；擦拭部93，与相向面51接触来对清洗液Lp进行擦拭；以及移动机构95，使擦拭部93沿着相向面51移动。
主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，具有：旋转体，使由保持部保持的基板旋转；处理液供给部，向所述基板的被处理面供给处理液；板，设置于与所述被处理面相向的位置；加热部，设置于所述板，对供给至所述基板的所述被处理面的所述处理液进行加热；以及清洗部，对所述板的与所述被处理面相向的相向面进行清洗，所述清洗部具有：供液部，向所述相向面供给清洗液；擦拭部，与所述相向面接触来对由所述供液部供给的所述清洗液进行擦拭；以及移动机构，使所述擦拭部沿着所述相向面移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芝浦机械电子装置株式会社 基板处理装置及基板处理方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号