龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：细美事有限公司
申请日：2023-12-27
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118254211A
主分类号：B25J15/08
分类号：B25J15/08;H01L21/687;G06F17/10;G06T7/66
优先权：["20221227 KR 10-2022-0186353"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供基板处理装置和处理方法，该装置包括配置为包括用于支承基板的支承区域的支承单元、用于将基板传送到支承单元的传送机械手、配置为测量基板和支承单元并检测关于基板和支承单元的边界的信息的测量单元以及分析部，分析部配置为与待被输入相对于边界的信息的测量单元通信、用相对于边界的输入信息来计算基板的中心坐标值和支承单元的中心坐标值、将计算出的支承单元的中心坐标值设定为测量单元的中心坐标值、将计算出的基板的中心坐标值设定为传送机械手的中心坐标值以记录传送机械手在测量单元的平面坐标系上的中心坐标值、以及将记录的传送机械手的中心坐标值和测量单元的中心坐标值转换到传送机械手的平面坐标系以示教传送机械手。
主权项：1.一种基板处理装置，所述基板处理装置包括：支承单元，所述支承单元配置为包括用于支承基板的支承区域；传送机械手，所述传送机械手用于将所述基板传送到所述支承单元；测量单元，所述测量单元配置为测量所述基板和所述支承单元、并检测相对于所述基板和所述支承单元的边界的信息；以及分析部，所述分析部配置为与待被输入有相对于所述边界的信息的所述测量单元通信，从而用关于所述边界的输入信息来计算所述基板的中心坐标值和所述支承单元的中心坐标值、将计算出的所述支承单元的中心坐标值设定为所述测量单元的中心坐标值、将计算出的所述基板的中心坐标值设定为所述传送机械手的中心坐标值、记录所述传送机械手在所述测量单元的平面坐标系上的中心坐标值、并且将所记录的所述传送机械手的中心坐标值和所述测量单元的中心坐标值转换到所述传送机械手的平面坐标系以示教所述传送机械手。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 基板处理装置和基板处理方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号