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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日：2019-07-19
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN110739240B
主分类号：H01L21/66
分类号：H01L21/66;H01L21/67
优先权：["20180719 JP 2018-135791"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2021.05.07#实质审查的生效;2020.01.31#公开
摘要：本发明提供基板检查方法和基板检查装置，能够在检查基板时准确地探测基板周缘部的宏观的异常。检查基板的方法包括以下工序：特征量获取工序，获取作为检查对象的所述基板的周缘部的图像、即检查对象周缘图像中的多个分割区域的各个分割区域的特征量，所述分割区域是将所述基板的周缘部的图像中的规定的区域进行分割所得到的区域；以及判定工序，基于所述特征量获取工序中的获取结果来进行与所述基板的周缘部的检查有关的规定的判定。
主权项：1.一种基板检查方法，用于检查基板，所述基板检查方法包括以下工序：特征量获取工序，获取作为检查对象的所述基板的周缘部的图像、即检查对象周缘图像中的多个分割区域的各个分割区域的特征量，所述分割区域是将所述基板的周缘部处的规定的区域进行分割所得到的区域；以及判定工序，基于所述特征量获取工序中的获取结果来进行与所述基板的周缘部的检查有关的规定的判定，其中，所述多个分割区域是以所述基板的切口位置为基准仅沿所述基板的周向进行分割所得到的相同宽度的块，在所述特征量获取工序中，从所述检查对象周缘图像获取每个所述相同宽度的块的特征量，在所述判定工序中，针对每个所述相同宽度的块，将该块的通过所述特征量获取工序获取到的特征量与基准周缘图像的特征量进行比较，在获取到的特征量与所述基准周缘图像的特征量之间存在超过阈值的差异的情况下，判定为所述检查对象的基板存在异常，其中，所述基准周缘图像是成为判定的基准的所述基板的周缘部的图像，在所述特征量获取工序中获取的所述周缘部的图像不包括所述基板的倒角的区域的图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板检查方法和基板检查装置
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