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申请/专利权人：株式会社村田制作所
申请日：2018-05-23
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118264200A
主分类号：H03B5/04
分类号：H03B5/04;H03H9/02;H03H9/24
优先权：["20171003 US 15/723,590"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：提供了一种烘箱控制的MEMS振荡器装置。校准系统包括控制电路系统，该控制电路系统分别选择预先确定的目标设定点值并且基于所选择的目标设定点值中的每一个来控制烘箱控制的MEMS振荡器内的加热器，以调整烘箱控制的MEMS振荡器的设定点。该系统还包括振荡测量电路，该振荡测量电路测量在与所选择的预先确定的目标设定点值中的每一个对应的每个调整的设定点处的相应振荡频率。所测量的振荡频率然后可以被用于确定用于烘箱控制的MEMS振荡器的目标设定点操作值，该目标设定点操作值可以被用于校准烘箱控制的MEMS振荡器。
主权项：1.一种烘箱控制的MEMS振荡器装置，包括：硅平台；谐振器，其耦接至所述硅平台；温度传感器，其耦接至所述硅平台并且被配置成：在所述烘箱控制的MEMS振荡器装置的操作期间输出温度测量信号；加热器，其耦接至所述硅平台并且被配置成：基于热控制信号来对所述烘箱控制的MEMS振荡器装置进行加热；非易失性电子存储器，其被配置成存储目标设定点；以及热控制电路，其被配置成：基于所存储的目标设定点值和从所述温度传感器输出的温度测量信号之间的差来生成所述热控制信号，其中，所述热控制电路被配置成：通过调整所述加热器以使所存储的目标设定点值和所述温度测量信号之间的差最小化来使所述热控制信号最小化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社村田制作所 烘箱控制的MEMS振荡器装置
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