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申请/专利权人：株式会社村田制作所;原子能与替代能源委员会
申请日：2023-12-22
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118251121A
主分类号：H10N97/00
分类号：H10N97/00;H01G4/38;H01G4/33
优先权：["20221222 EP 22307006.1"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：公开了包括阳极多孔氧化物区域的集成装置及其制造方法。制造包括阳极多孔氧化物区域的集成装置的方法包括：在基板上形成金属阳极氧化屏障层；使该金属阳极氧化屏障层平坦化；在平坦化的金属阳极氧化屏障层201P上形成可阳极氧化金属层；使该可阳极氧化金属层平坦化；对平坦化的可阳极氧化金属层进行阳极氧化以获得阳极多孔氧化物区域203，该阳极多孔氧化物区域203包括从阳极多孔氧化物区域的顶表面朝向金属阳极氧化屏障层延伸的多个基本上直的孔。
主权项：1.一种制造包括阳极多孔氧化物区域的集成装置的方法，所述方法包括：在基板200上形成金属阳极氧化屏障层201；使所述金属阳极氧化屏障层平坦化；在平坦化的金属阳极氧化屏障层201P上形成可阳极氧化金属层202；使所述可阳极氧化金属层平坦化；对平坦化的可阳极氧化金属层202P进行阳极氧化以获得所述阳极多孔氧化物区域203，所述阳极多孔氧化物区域203包括从所述阳极多孔氧化物区域的顶表面朝向所述金属阳极氧化屏障层延伸的多个基本上直的孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社村田制作所;原子能与替代能源委员会 包括阳极多孔氧化物区域的集成装置及其制造方法
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