龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：无锡先为科技有限公司
申请日：2021-09-03
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN115747770B
主分类号：C23C16/458
分类号：C23C16/458;C23C16/50;C23C14/50;C30B23/02;C30B25/12;H01J37/32
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2023.03.24#实质审查的生效;2023.03.07#公开
摘要：本申请实施例公开了一种成膜装置的基座组件，包括：基座本体，其设于成膜装置的反应腔室中；至少一个载盘，其可旋转地设于基座本体上；至少一个内轴，其轴向一端可与所述载盘直接或间接对接，以带动所述载盘相对于所述基座本体转动；管状的外轴，其环绕所述内轴的至少一部分并与所述基座本体的底部相连接，所述外轴可带动所述基座本体转动；加热件，其环绕所述外轴的至少一部分并与所述基座本体相邻设置，所述外轴包括位于所述加热件的加热区域内的外轴第一段及延伸出所述加热件的加热区域的外轴第二段；其中，基座组件至少包括一个外冷却管道和一个内冷却管道，所述外冷却管道在所述外轴第二段中延伸，所述内冷却管道在所述内轴中延伸。
主权项：1.一种成膜装置的基座组件，其特征在于，包括：基座本体1，其设于所述成膜装置的反应腔室中；至少一个载盘，其可旋转地设于所述基座本体上；至少一个内轴2，其轴向一端与所述载盘直接或间接对接，以带动所述载盘相对于所述基座本体转动；管状的外轴3，其环绕所述内轴的至少一部分并与所述基座本体1的底部相连接，所述外轴可带动所述基座本体转动；加热件4，其环绕所述外轴3的至少一部分并与所述基座本体1相邻设置，所述外轴3包括位于所述加热件4的加热区域内的外轴第一段及延伸出所述加热件4的加热区域的外轴第二段；其中，所述基座组件至少包括一个外冷却管道7和一个内冷却管道6，所述外冷却管道7在所述外轴第二段中延伸，所述内冷却管道6在所述内轴中延伸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡先为科技有限公司 一种成膜装置的基座组件
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号