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成膜树脂及其制备方法、光刻胶及其制备方法 

申请/专利权人:道夫新材料(惠州)有限公司

申请日:2023-10-12

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN117487044B

主分类号:C08B37/16

分类号:C08B37/16;G03F7/004

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.28#授权;2024.02.23#实质审查的生效;2024.02.02#公开

摘要:本发明公开了一种成膜树脂及其制备方法、光刻胶及其制备方法,属于有机材料技术领域,该成膜树脂的制备方法包括:将β‑环糊精溶于第一有机溶剂中,得到β‑环糊精混合物;对所述β‑环糊精混合物进行加热,加入羟基保护物质与所述β‑环糊精反应,得到反应溶液;向所述反应溶液中加入去离子水,生成沉淀;分离出所述沉淀,干燥后得到所述成膜树脂。本发明采用以β‑环糊精为起点,制备光刻胶中成膜树脂的主要成分,实现了兼顾低成本和高分辨率的技术效果。

主权项:1.一种成膜树脂的制备方法,其特征在于,所述成膜树脂的制备方法包括以下步骤:将β-环糊精溶于第一有机溶剂中,得到β-环糊精混合物;对所述β-环糊精混合物进行加热,加入羟基保护物质与所述β-环糊精反应,得到反应溶液,所述羟基保护物质包括对硝基苯甲酸酯或三氟乙酰乙酸乙酯;向所述反应溶液中加入去离子水,生成沉淀;分离出所述沉淀,干燥后得到所述成膜树脂。

全文数据:

权利要求:

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