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申请/专利权人：南京看视界智能科技有限公司
申请日：2022-12-27
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118256859A
主分类号：C23C14/04
分类号：C23C14/04;C23C14/50
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本申请提供一种阶梯结构制备装置和阶梯结构的制备方法。该阶梯结构制备装置包括主体、掩膜板和安装机构；安装机构设置于主体，安装机构包括基座，以及用于安装基板的固定件；掩膜板设置于基座，掩膜板形成有至少一个开口，在第一方向上，开口至少部分朝向基板；固定件可活动设置于基座，以通过固定件调节基板的位置；主体包括发射源，在第一方向上，发射源设置于掩膜板远离基板的一侧，发射源可通过开口向基板发射粒子。本申请能够解决阶梯结构的制备工艺复杂，制备难度大的问题。
主权项：1.一种阶梯结构制备装置，其特征在于，包括主体、掩膜板和安装机构；所述安装机构设置于所述主体，所述安装机构包括基座，以及用于安装基板的固定件；所述掩膜板设置于所述基座，所述掩膜板形成有至少一个开口，在第一方向上，所述开口至少部分朝向所述基板；所述固定件可活动设置于所述基座，以通过所述固定件调节所述基板的位置；所述主体包括发射源，在所述第一方向上，所述发射源设置于所述掩膜板远离所述基板的一侧，所述发射源可通过所述开口向所述基板发射粒子。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京看视界智能科技有限公司 阶梯结构制备装置和阶梯结构的制备方法
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