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申请/专利权人：株式会社力森诺科
申请日：2023-11-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118256886A
主分类号：C23C14/50
分类号：C23C14/50;C23C16/458
优先权：["20221226 JP 2022-208785"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供一种支承单元、成膜装置以及载体的支承方法，能够降低保持基板的载体的振动，抑制基板的落下。保持基板的载体的支承单元，具备：多个旋转部件，其在输送载体时，在对基板进行成膜处理的腔室内支承载体；和在腔室内能够旋转地支承多个旋转部件的支承体,支承体从载体的输送方向的上游侧向下游侧延伸，多个旋转部件从支承体的上游侧向下游侧排成一列地配置在支承体，配置在支承体的上游侧及下游侧的任一方的第1组旋转部件彼此的间隔，比配置在支承体的上游侧与下游侧之间的第2组旋转部件彼此的间隔更窄。
主权项：1.一种保持基板的载体的支承单元，其中，具备：多个旋转部件，其在输送所述载体时，在对所述基板进行成膜处理的腔室内支承所述载体；和在所述腔室内能够旋转地支承所述多个旋转部件的支承体,所述支承体从所述载体的输送方向的上游侧向下游侧延伸，所述多个旋转部件从所述支承体的所述上游侧向所述下游侧排成一列地配置在所述支承体，配置在所述支承体的所述上游侧及所述下游侧的任一方的第1组所述旋转部件彼此的间隔，比配置在所述支承体的所述上游侧与所述下游侧之间的第2组所述旋转部件彼此的间隔更窄。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社力森诺科 支承单元、成膜装置以及载体的支承方法
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