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申请/专利权人：株式会社安川电机
申请日：2019-11-04
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN111244019B
主分类号：H01L21/687
分类号：H01L21/687;H01L21/68;H01L21/677
优先权：["20181129 JP 2018-223225"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2021.06.15#实质审查的生效;2020.06.05#公开
摘要：提供基板支承装置、基板运送机器人以及对准装置，防止基板的偏移和落下，并且减少对基板的损伤。基板支承装置具有叶片和固定于叶片并对基板进行支承的衬垫。衬垫具有第1固定部、第2固定部以及桥接部。第1固定部固定在比所支承的基板的外周部靠外侧的位置。第2固定部固定在比外周部靠内侧的位置。桥接部连接第1固定部和第2固定部，对外周部进行支承。桥接部由挠性部件形成，在未对基板进行支承的状态下，桥接部的上表面从第1固定部朝向第2固定部向下倾斜。
主权项：1.一种基板支承装置，其特征在于，该基板支承装置具有：叶片；以及衬垫，其固定于所述叶片，对基板进行支承，所述衬垫具有：第1固定部，其固定在比所支承的所述基板的外周部靠外侧的位置；第2固定部，其固定在比所述外周部靠内侧的位置；以及桥接部，其连接所述第1固定部和所述第2固定部，对所述外周部进行支承，所述桥接部由挠性部件形成，在未对所述基板进行支承的状态下，所述桥接部的上表面从所述第1固定部朝向所述第2固定部向下倾斜，所述桥接部的下表面与所述叶片的表面分离，在对所述基板进行支承的状态下，所述桥接部借助该基板的自重而模仿着该基板的边缘部的形状挠曲，所述叶片具有：第1孔部，其供所述第1固定部嵌入；以及第2孔部，其供所述第2固定部嵌入。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社安川电机 基板支承装置、基板运送机器人以及对准装置
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