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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
申请日：2018-12-04
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN111801517B
主分类号：F16H49/00
分类号：F16H49/00;F16H21/10;G01N27/62;G01N27/64
优先权：["20180308 JP 2018-041686"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2020.11.06#实质审查的生效;2020.10.20#公开
摘要：可动侧磁体4设于真空室1内的可动部2。驱动部5设于真空室1的外部，通过对可动侧磁体4作用磁力而驱动可动部2。驱动部5具有第1磁体8、第2磁体9以及移动机构移动构件7。第1磁体8作用吸引可动侧磁体4的磁力。第2磁体9与第1磁体8相邻地设置，作用排斥可动侧磁体4的磁力。移动机构使第1磁体8和第2磁体9一体地移动。
主权项：1.一种质谱仪，其包括驱动装置，该驱动装置用于驱动设于真空室内的可动部，其特征在于，该驱动装置包括：可动侧磁体，其设于所述可动部；以及驱动部，其设于所述真空室的外部，通过对所述可动侧磁体作用磁力而驱动所述可动部，所述驱动部具有：第1磁体，其作用吸引所述可动侧磁体的磁力；第2磁体，其与所述第1磁体相邻地设置，作用排斥所述可动侧磁体的磁力；以及移动机构，其使所述第1磁体和所述第2磁体一体地移动，所述可动部连结于在所述真空室内设置的试样台，所述第2磁体以所述第1磁体为中心而呈点对称配置，或者，所述第2磁体以所述第1磁体为中心而呈圆环状配置。
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