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申请/专利权人：北京航空航天大学
申请日：2022-01-19
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN114487748B
主分类号：G01R31/26
分类号：G01R31/26;G01R1/073
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2022.05.31#实质审查的生效;2022.05.13#公开
摘要：本发明提出一种探针组件进行热屏蔽的方法。包括：获得探针支架形状及大小、选择耐低温的反射薄膜、选择耐低温的隔离薄膜、制作包含纯铝膜的多层薄膜、裁剪多层薄膜、缝制多层薄膜、包覆形成热辐射保护套、安装各层电极和引线接地步骤。本发明解决了采用传统方法难以消除探针支架与针尖‑样品接触区域之间的热辐射问题，实现了探针支架的多层隔热，满足样品测量时针尖‑样品接触区域的温度稳定性。而且，因绝热多层包覆结构的热辐射防护作用，探针支架材料选择包括不限于传统的陶瓷，增加了灵活性。
主权项：1.一种探针组件进行热屏蔽的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、对探针支架的外形进行测量，获得探针支架的形状及尺寸大小；步骤二、采用半球发射率εH0.20、吸收-发射比aSεH0.40、总质量损失TML≤1.00％、收集到的可凝挥发物CVCM≤0.10％，且耐液氦低温的复合材料作为反射薄膜；步骤三、采用TML≤1.00％、CVCM≤0.10％，且耐液氦低温的绝缘材料作为两层反射薄膜之间的隔离薄膜；步骤四、将多个单片的反射薄膜与多个单片的隔离薄膜依次交替堆叠布置，并在最下层的隔离薄膜与反射薄膜中间添加一层较厚的纯铝膜，形成交替的多层薄膜结构；步骤五、按照步骤一获得的探针支架的形状及尺寸大小、并留有余量对步骤四中所述的多层薄膜进行裁剪，获得适合包覆探针支架的多层绝热薄片结构；步骤六、采用普通棉线，对步骤五中所述的多层绝热薄片结构进行缝制以紧固多层薄膜；步骤七、将紧固好的多层绝热薄片结构包覆到探针支架上，形成热辐射保护套；步骤八、在所述探针支架的热辐射保护套靠近低温探针台探针臂一侧的纯铝膜和每一层反射薄膜上安装电极，用于接地；步骤九、在步骤八中纯铝膜和每一层反射薄膜的电极上均引出接地线并汇聚到一点，与低温探针台的样品台的冷地连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京航空航天大学 一种探针组件进行热屏蔽的方法
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