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申请/专利权人：埃地沃兹真空泵有限责任公司
摘要：一种用于气体固体分离的液体过滤器装置，包括：具有过滤器室、半导体过程气体入口和过程气体出口的壳体。过滤器室形成液体贮存器，并且半导体过程气体入口和过程气体出口与过滤器室连通。壳体还包括过滤液体入口和过滤液体出口，所述过滤液体入口和过滤液体出口与液体贮存器连通，分别用于将过滤流体递送到液体贮存器和将过滤流体从液体贮存器移除。
主权项：1.一种用于半导体过程废物的液体过滤器装置，所述液体过滤器装置包括：壳体，所述壳体具有过滤器室、过程废物入口、过程废物出口和馈送管，所述馈送管与所述过程废物入口和所述过滤器室连通，所述馈送管具有馈送管出口，所述过滤器室形成在其中保存过滤液体的液体贮存器，并且所述过程废物出口与所述过滤器室连通；以及偏转表面，所述偏转表面插入在过滤液体和所述馈送管出口之间，所述偏转表面使过程废物偏转以防止从馈送管流出的过程废物与过滤液体直接撞击并且进一步从过程废物吸收热量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 埃地沃兹真空泵有限责任公司 具有热屏蔽件的液体过滤器装置
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