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申请/专利权人：北京航空航天大学
申请日：2021-11-19
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN114121607B
主分类号：H01L21/02
分类号：H01L21/02;H01L29/786;C25D9/04
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2022.03.18#实质审查的生效;2022.03.01#公开
摘要：本发明公开了一种柔性绝缘基底上制备Cu2O薄膜的方法，包括以下步骤：清洗玻璃衬底：将玻璃裁成长条，依次在丙酮、乙醇、去离子水中超声清洗；前驱液的配置：配置硫酸铜乳酸混合液；配置NaOH溶液用以调节混合溶液pH值；将硫酸铜乳酸混合液逐滴加入氢氧化钠溶液，调节整体至pH8‑pH9，得到电解前驱液；电化学沉积Cu2O薄膜：将电解前驱液置于水浴锅中加热，以AgAgCl过饱和氯化钾溶液作为参比电极，Pt作为对电极搭建三电极体系，在玻璃衬底上电沉积获得Cu2O薄膜；Cu2O薄膜的物理转移：用柔性绝缘胶带均匀而紧密地与Cu2O薄膜相结合，将柔性绝缘胶带从玻璃衬底剥离，实现Cu2O薄膜的完整转移。该方法能够获得均匀致密的薄膜，重复性和可操作性强。
主权项：1.一种柔性绝缘基底上制备Cu2O薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）清洗玻璃衬底：将玻璃裁成15mm×40mm的长条，依次在丙酮、乙醇、去离子水中各超声清洗30min；（2）前驱液的配置：配置0.4molL-1CuSO4和3molL-1乳酸溶液，以体积比1:1共混，缓慢搅拌24h；配置3molL-1NaOH溶液用以调节混合溶液pH值；将硫酸铜乳酸混合液逐滴加入氢氧化钠溶液，调节整体至pH8-pH9，得到电解前驱液；（3）电化学沉积Cu2O薄膜：将电解前驱液置于水浴锅中加热，以AgAgCl过饱和氯化钾溶液作为参比电极，Pt作为对电极搭建三电极体系，在玻璃衬底上以-0.4V电沉积5-30min，获得Cu2O薄膜；（4）Cu2O薄膜的物理转移：用柔性绝缘胶带均匀而紧密地与Cu2O薄膜黏贴结合，将柔性绝缘胶带从玻璃衬底剥离，实现Cu2O薄膜的完整转移；所述步骤4还包括：在转移之前进行退火处理，将Cu2O薄膜玻璃衬底置于80℃的烘箱中加热5小时，冷却至室温，同样的退火操作反复2次。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京航空航天大学 一种柔性绝缘基底上制备Cu2O薄膜的方法
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