申请/专利权人：南轩(天津)科技有限公司

申请日：2024-04-22

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN118099044B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.25#授权;2024.06.14#实质审查的生效;2024.05.28#公开

摘要：本发明公开了一种硅片腐蚀清洗机，属于硅片腐蚀清洗技术领域，该种防泄漏结构及硅片腐蚀清洗机，包括防泄漏机构、上下料机构和清洁机构，所述防泄漏机构设立在地面上，所述上下料机构内置在防泄漏机构的内部，所述清洁机构紧贴在上下料机构的一侧，所述防泄漏机构包括作为抵挡清洗区域的液体挡漏底板，所述液体挡漏底板的板材四周均围绕设置有防渗流包边框，所述防渗流包边框的板面中部边缘位置开设有投送开槽，通过采用液体挡漏底板确保在对硅片进行腐蚀清洗时避免液体的渗漏，结合防渗流包边框起到了挡水清洁的效果，结合投送开槽和密封挡门确保在清洁阶段避免水从接缝处实现排放。

主权项：1.一种硅片腐蚀清洗机，包括防泄漏机构（1）、上下料机构（2）和清洁机构（3）；所述防泄漏机构（1）设立在地面上，所述上下料机构（2）内置在防泄漏机构（1）的内部，所述清洁机构（3）紧贴在上下料机构（2）的一侧；其特征在于：所述防泄漏机构（1）包括作为抵挡清洗区域的液体挡漏底板（11），所述液体挡漏底板（11）的板材四周均围绕设置有防渗流包边框（12），所述防渗流包边框（12）的板面中部边缘位置开设有投送开槽（13），所述投送开槽（13）的两边侧均通过铰接的密封挡门（14）隔开外部空间阻挡清洁水外溢，所述密封挡门（14）的板面表面安装有防护玻璃（15），该防护玻璃（15）与密封挡门（14）的安装区域设有防漏胶贴；所述防渗流包边框（12）的中部横向设有分隔板（16），所述分隔板（16）的板面中部密封放置有梯形隔板（17），该梯形隔板（17）隔开处于湿气状态的清洁机构（3）并辅助上下料机构（2）排湿挡水，所述梯形隔板（17）的板面中部开设有用于转移单晶硅片（37）的开槽（18）；所述分隔板（16）的板面中部设有上下料机构（2），所述上下料机构（2）包括设置在分隔板（16）边侧的主动转移座（21），所述主动转移座（21）的顶端中部设有机械臂安装架（22），所述机械臂安装架（22）的顶端中部设有接入顶板（23），所述接入顶板（23）的一端安装有夹持机械臂（24），所述夹持机械臂（24）的一端设有用于铰接的连接撑杆（25），所述连接撑杆（25）的底端中部设有用于抓持检测面板（26）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南轩(天津)科技有限公司 一种硅片腐蚀清洗机

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