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申请/专利权人：宁德时代新能源科技股份有限公司
申请日：2024-04-02
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221223127U
主分类号：F25D31/00
分类号：F25D31/00;F25D23/00;F25D25/04
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本申请提供一种成膜冷却装置及成膜设备，属于成膜技术领域。成膜冷却装置包括：冷却主体，具有容纳腔，冷却主体用于承载成膜基材，并且用于对附着于成膜基材上的材料进行冷却，成膜基材具有导电性；磁性部件，位于容纳腔内，磁性部件被构造为能够对成膜基材产生朝向容纳腔的磁吸力。本申请提供的成膜冷却装置能够增强成膜基材在冷却主体表面的贴合力。
主权项：1.一种成膜冷却装置，其特征在于，包括：冷却主体，具有容纳腔，所述冷却主体用于承载成膜基材，并且用于对附着于所述成膜基材上的材料进行冷却，所述成膜基材具有导电性；磁性部件，位于所述容纳腔内，所述磁性部件被构造为能够对所述成膜基材产生朝向所述容纳腔的磁吸力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁德时代新能源科技股份有限公司 成膜冷却装置及成膜设备
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