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一种尾气处理器用气体屏蔽机构 

申请/专利权人:气安仕先进制造科技(无锡)有限公司

申请日:2023-11-01

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN221221765U

主分类号:F16L9/21

分类号:F16L9/21;F16L57/04;F16L59/02;F15D1/02;B01D53/86

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.25#授权

摘要:本实用新型提供了一种尾气处理器用气体屏蔽机构,涉及半导体尾气处理领域,包括:处理器外壳、处理机构和扩散组件,所述处理器外壳的两侧分别设有出气端和进气端,所述处理机构设于处理器外壳的内侧,且处理机构包括外侧的夹层外套,夹层外套内侧设有隔热夹层,并且隔热夹层的内侧设有夹层内套,所述夹层内套内侧设有衬垫,且衬垫内侧设有陶瓷载体,并且夹层内套包括聚氨酯发泡层、硅酸盐板层以及玻璃棉板层,所述扩散组件设于进气端内部,且扩散组件包括网孔板,网孔板中心贯穿有定位轴。本实用新型解决了现有的尾气处理器内部结构对尾气处理效果偏差,不具有对尾气通过处理器时的噪音屏蔽效果的问题。

主权项:1.一种尾气处理器用气体屏蔽机构,包括:处理器外壳1、处理机构2和扩散组件3,所述处理器外壳1的两侧分别设有出气端11和进气端12,其特征在于:所述处理机构2设于处理器外壳1的内侧,且处理机构2包括外侧的夹层外套21,夹层外套21内侧设有隔热夹层22,并且隔热夹层22的内侧设有夹层内套23,所述夹层内套23内侧设有衬垫24,且衬垫24内侧设有陶瓷载体25,并且夹层内套23包括聚氨酯发泡层231、硅酸盐板层232以及玻璃棉板层233,所述扩散组件3设于进气端12内部,且扩散组件3包括网孔板33,网孔板33中心贯穿有定位轴31,并且定位轴31的内侧连接有叶片34,定位轴31外侧连接有刷杆32。

全文数据:

权利要求:

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