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申请/专利权人：隆基乐叶光伏科技(西咸新区)有限公司
申请日：2023-11-08
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221217985U
主分类号：C30B31/16
分类号：C30B31/16;C30B31/06;H01L31/18
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本申请公开了一种扩散装置及扩散系统，扩散装置包括：炉管、隔热组件和排气管；炉管内设有扩散腔，炉管包括沿第一方向相对设置的炉口和炉尾；隔热组件设于扩散腔内并靠近炉口；隔热组件包括沿第一方向层叠排布的若干隔热板和至少一个隔热包；排气管从炉尾伸入扩散腔内并向炉口延伸，排气管靠近炉口的一端设有抽气口，抽气口与隔热组件间隙设置，沿第一方向抽气口到炉口的距离大于隔热组件到炉口的距离。通过设置隔热组件由隔热板和隔热包组成的复合结构，能够提升隔热组件的隔热性能，便于减小隔热组件的厚度，进而降低隔热组件对排气管排气的干扰，从而能够提升扩散腔内的气流分布均匀，减少工件出现工艺异常问题。
主权项：1.一种扩散装置，其特征在于，包括：炉管，所述炉管内设有扩散腔，所述炉管包括沿第一方向相对设置的炉口和炉尾；隔热组件，所述隔热组件设于所述扩散腔内并靠近所述炉口；所述隔热组件包括沿所述第一方向层叠排布的若干隔热板和至少一个隔热包；排气管，所述排气管从所述炉尾伸入所述扩散腔内并向所述炉口延伸，所述排气管靠近所述炉口的一端设有抽气口，所述抽气口与所述隔热组件间隙设置，沿所述第一方向所述抽气口到所述炉口的距离大于所述隔热组件到所述炉口的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 隆基乐叶光伏科技(西咸新区)有限公司 一种扩散装置及扩散系统
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