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申请/专利权人：浙江圆芯半导体材料有限公司
申请日：2023-10-20
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221223711U
主分类号：G01B11/30
分类号：G01B11/30
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型公开了一种硅盘表面平整度的检测装置，包括机架，机架上转动安装有检测台以及固定安装有支撑架，检测台上滑动设有三根竖直的夹持柱，三根夹持柱呈等边三角状分布，三根夹持柱通过第一驱动机构驱动进行同步滑动，三根夹持柱的滑动方向连于一点，检测台上通过支架安装有水平设置的承托盘，承托盘上对应三根夹持柱开设有三条条形孔，支撑架的上端安装有延伸至承托盘上方的安装架，安装架上滑动设有通过第二驱动机构驱动滑动的移动架，移动架的下端安装有朝下设置的红外测距仪，通过此结构能够检测多种尺寸的硅盘，并且能将硅盘的表面完整露出进行检测，此外三根夹持柱同步移动可以进行定心，在检测不同硅盘时，其中心均能处于同一位置。
主权项：1.一种硅盘表面平整度的检测装置，其特征在于，包括机架1，所述机架1上安装有检测台2以及支撑架3，所述检测台2通过第四旋转电机8转动安装于机架1上，所述检测台2的表面上滑动设有三根竖直设置的夹持柱6，三根夹持柱6呈等边三角状分布，三根夹持柱6通过第一驱动机构驱动进行同步滑动，三根夹持柱6的滑动方向连于一点，相邻两根夹持柱6的滑动方向的夹角呈120°，所述检测台2上通过支架安装有承托盘10，所述承托盘10水平设置，所述承托盘10上对应三根夹持柱6开设有三条条形孔21，所述条形孔21的长度方向与对应的夹持柱6的移动方向一致，所述支撑架3的上端安装有延伸至承托盘10上方的安装架11，所述安装架11上滑动设有通过第二驱动机构驱动滑动的移动架12，所述移动架12的下端安装有朝下设置的红外测距仪13。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江圆芯半导体材料有限公司 一种硅盘表面平整度的检测装置
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