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一种提高屏蔽泵全封闭式灌泵排气效率的结构 

申请/专利权人:青海丽豪半导体材料有限公司

申请日:2023-12-01

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN221220891U

主分类号:F04D29/00

分类号:F04D29/00;F04D9/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.25#授权

摘要:本实用新型公开了一种提高屏蔽泵全封闭式灌泵排气效率的结构,涉及屏蔽泵灌泵技术领域。本实用新型包括屏蔽泵本体,所述屏蔽泵本体输出端法兰连接有管道一,所述管道一外壁后端固定安装有连接管一,所述连接管一外壁前端固定安装有指示框,所述连接管一外壁固定安装有电磁阀一。本实用新型在使用时,操作人员通过观察玻璃液位显示窗有无液体上涨来判断屏蔽泵本体是否已经灌满液体介质,让屏蔽泵本体的内腔中能够完全灌入液体介质,将其中的气体完全排除干净,同时装置在进行灌泵时,无需拆装法兰连接件,只需开关阀门就能够实现整个灌泵操作,大大提高了操作人员的工作效率。

主权项:1.一种提高屏蔽泵全封闭式灌泵排气效率的结构,包括屏蔽泵本体100,其特征在于:所述屏蔽泵本体100输出端法兰连接有管道一200,所述管道一200外壁后端固定安装有连接管一210,所述连接管一210外壁前端固定安装有指示框300,所述连接管一210外壁固定安装有电磁阀一220,所述指示框300外壁前端开设有玻璃液位显示窗310,所述屏蔽泵本体100输入端法兰连接有管道二700,所述管道二700外壁前端固定安装有灌泵管800,所述灌泵管800上固定安装有微型泵810。

全文数据:

权利要求:

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