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申请/专利权人：上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心);上海计测信息科技有限公司
申请日：2023-11-30
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221223684U
主分类号：G01B11/00
分类号：G01B11/00;G01B11/24;G01B11/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型提供一种基于探针干涉的三维微接触测头，包括探测组件、悬挂组件和传感单元，探测组件的下端形成测球，测球用于与样品表面相接触；悬挂组件将探测组件悬挂在空中；测球不受外力时，悬挂组件使探测组件的水平基准面保持水平；测球受外力时，悬挂组件限制探测组件只能沿中心轴线的方向上下移动或以转动中心为中心转动。上述三维微接触测头，可实现兼顾高精度、高动态特性的三维传感测量；通过优化设计，可实现三轴分辨力及刚度各向同性；传感单元和探测组件的分离式设计，使测头具备探测组件的互换性，可根据被测对象灵活更换具有不同尺寸和型号的测针的探测单元。
主权项：1.一种基于探针干涉的三维微接触测头，其特征在于，包括：探测组件，所述探测组件的下端形成测球，所述测球用于与样品表面相接触；所述探测组件的上端设有位移探测点；所述探测组件形成一水平基准面，所述位移探测点与所述测球的中心之间的连线形成中心轴线，所述中心轴线垂直于所述水平基准面，所述中心轴线与所述水平基准面的交点为转动中心；悬挂组件，所述悬挂组件将所述探测组件悬挂在空中；所述测球不受外力时，所述悬挂组件使所述探测组件的水平基准面保持水平；所述测球受外力时，所述悬挂组件限制所述探测组件只能沿所述中心轴线的方向上下移动或以所述转动中心为中心转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心);上海计测信息科技有限公司 基于探针干涉的三维微接触测头
免责声明
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