首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种芯片剥离与检测分选一体化设备 

申请/专利权人:厦门特仪科技有限公司

申请日:2024-02-29

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN118263161A

主分类号:H01L21/67

分类号:H01L21/67;H01L21/683;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/66

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.28#公开

摘要:本发明公开了一种芯片剥离与检测分选一体化设备,包括上料模块、检测模块、下料模块与转运模块,上料模块包括扩膜机构、移动对位机构、定位相机与顶针,移动对位机构驱动连接扩膜机构,并可带动扩膜机构水平转动与平移,定位相机位于顶针上方,顶针位于扩膜机构的移动轨迹下方,并可上升顶起芯片。检测模块包括检测平台与光学检测机构,光学检测机构设置在检测平台上方,下料模块包括托盘支架、Z轴驱动模组、下料输送线与NG输送线,托盘支架用于承载料盘,Z轴驱动模组驱动托盘支架升降,下料输送线的输入端位于托盘支架正下方,并对接托盘支架,用于输送料盘,NG输送线用于输送芯片,转运模块用于吸附转运芯片。本发明可有效提升芯片检测效率。

主权项:1.一种芯片剥离与检测分选一体化设备,其特征在于,包括:上料模块,所述上料模块包括扩膜机构、移动对位机构、定位相机以及可升降的顶针,所述移动对位机构驱动连接所述扩膜机构,并可带动所述扩膜机构移动至所述顶针上方,所述定位相机用于定位所述扩膜机构上的芯片,所述顶针可上升顶起芯片;检测模块,所述检测模块包括检测平台与光学检测机构,所述光学检测机构设置在所述检测平台上方;下料模块,所述下料模块包括托盘支架、Z轴驱动模组、下料输送线与NG输送线,所述托盘支架用于承载存储芯片的料盘,所述Z轴驱动模组驱动所述托盘支架升降,所述下料输送线用于输送料盘,所述下料输送线的输入端位于所述托盘支架正下方,并且对接所述托盘支架,所述NG输送线用于输送芯片;转运模块,所述转运模块用于吸取被所述顶针顶起的芯片,并将芯片转送到所述检测平台,所述转运模块还用于自所述检测平台处吸取芯片,并将芯片转送到所述下料输送线与所述NG输送线。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 厦门特仪科技有限公司 一种芯片剥离与检测分选一体化设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。