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申请/专利权人：北京市科学技术研究院
摘要：本发明公开了一种陶瓷曲面表面金属膜的镀覆装置，属于金属膜镀覆领域。一种陶瓷曲面表面金属膜的镀覆装置，包括镀覆箱，所述镀覆箱内腔底部固定连接有蒸镀盘，所述镀覆箱内腔顶部转动连接有镀覆盘，所述镀覆盘底部两侧均固定连接有定位吸盘；本发明通过充入惰性气体推动驱动叶轮进行转动，使得气化上行的靶材均匀地与基板底面相接触，从而在基板上形成均匀的薄膜，提高了镀覆效果；并且将利用后的惰性气体从喷气管向上流出，推动气化的靶材快速地到达基板底面，提高了镀覆效率，并以此将蒸镀盘周围的高温向上推移，使得高温接触基板底面，从而对基板底面进行预热，使得基板更好地与靶材相结合，以此提高了镀覆的效果。
主权项：1.一种陶瓷曲面表面金属膜的镀覆装置，包括镀覆箱1，其特征在于，所述镀覆箱1内腔底部固定连接有蒸镀盘2，所述镀覆箱1内腔顶部转动连接有镀覆盘3，所述镀覆盘3底部两侧均固定连接有定位吸盘31，所述镀覆盘3顶部固定连接有吸附泵32，所述吸附泵32的输入端与定位吸盘31内腔连通，所述镀覆箱1侧壁固定连接有真空泵4，所述真空泵4的输入端固定连接有抽气管41，且所述抽气管41与镀覆箱1内腔连通，还包括：旋转组件5，所述旋转组件5设置在镀覆箱1顶部，用于推动镀覆盘3转动；预热组件6，所述预热组件6设置在镀覆盘3上，用于对基材进行全面预热；除尘组件7，所述除尘组件7设置在镀覆箱1内，用于对基材表面进行除尘处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京市科学技术研究院 一种陶瓷曲面表面金属膜的镀覆装置
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