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申请/专利权人：基迈克材料科技(苏州)有限公司
申请日：2023-12-29
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118256850A
主分类号：C23C4/134
分类号：C23C4/134;C23C4/137;C23C4/02;C23C4/10;C23C4/18
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明公开了一种半导体领域用石墨材料表面防腐蚀复合涂层制备方法，涉及石墨材料领域，旨在提高石墨材料防腐蚀能力，技术方案为：步骤一、对石墨材料表面喷砂处理；步骤二、清洗喷砂后的石墨材料表面；步骤三、烘干石墨材料表面；步骤四、在石墨材料的表面依次真空等离子喷涂中间过渡层涂层和面层涂层，中间过渡层涂层材质为碳化钽、石墨复合材料，面层涂层材质为碳化钽；步骤五、清洗喷涂后的石墨材料表面涂层；步骤六、烘干石墨材料表面涂层。本发明的半导体领域用石墨材料表面防腐蚀复合涂层制备方法能够有效避免石墨材料在侵蚀性环境下发生腐蚀，有效提高石墨部件的使用寿命并提高集成电路的良率。
主权项：1.一种半导体领域用石墨材料表面防腐蚀复合涂层制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、对石墨材料进行表面喷砂处理；步骤二、采用超纯水及超声波清洗设备清洗喷砂后的石墨材料表面；步骤三、烘干石墨材料表面；步骤四、在石墨材料的表面依次真空等离子喷涂中间过渡层涂层和面层涂层，所述中间过渡层涂层材质为碳化钽、石墨复合材料，所述面层涂层材质为碳化钽；步骤五、采用超纯水及超声波清洗设备清洗喷涂后的石墨材料表面涂层；步骤六、烘干石墨材料表面涂层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 基迈克材料科技(苏州)有限公司 半导体领域用石墨材料表面防腐蚀复合涂层制备方法
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