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申请/专利权人：北京大学南昌创新研究院
申请日：2024-03-04
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263202A
主分类号：H01L23/367
分类号：H01L23/367;H01L23/373;H01L21/48;H01L23/473;H01L23/433
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供了一种陶瓷微通道散热器及其制备方法，该陶瓷微通道散热器包括散热器主体以及一体成型在所述散热器主体内部空腔内的微通道结构和歧管结构，所述微通道结构铺设在所述歧管结构的下方且连通所述歧管结构，所述散热器主体上开设有分别连通所述歧管结构的散热器入口和散热器出口。本发明采用面投影微立体光刻技术一体化制备得到的陶瓷微通道散热器，能降低冷却工质泄露风险及接触热阻。同时采用面投影微立体光刻技术减少了陶瓷加工工序，同时满足高精度、低成本加工要求，适合大批量生产。
主权项：1.一种陶瓷微通道散热器，其特征在于，包括散热器主体以及一体成型在所述散热器主体内部空腔内的微通道结构和歧管结构，所述微通道结构铺设在所述歧管结构的下方且连通所述歧管结构，所述散热器主体上开设有分别连通所述歧管结构的散热器入口和散热器出口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京大学南昌创新研究院 陶瓷微通道散热器及其制备方法
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