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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本公开提供一种用于供应化学品的设备、以及一种用于处理衬底的设备和方法。根据本公开的实施例的用于供应化学品的设备包括：储罐，所述储罐储存所述化学品；化学品排放管线，所述化学品排放管线从所述储罐排放所述化学品；循环管线，所述循环管线被连接至所述储罐并使来自所述储罐的所述化学品自循环；泄漏确定管线，所述泄漏确定管线与所述循环管线连接并向所述循环管线供应气体；以及测量单元，所述测量单元测量供应至所述循环管线的气体的压力的变化。
主权项：1.一种用于供应化学品的设备，包括：储罐，所述储罐储存所述化学品；化学品排放管线，所述化学品排放管线从所述储罐排放所述化学品；循环管线，所述循环管线被连接至所述储罐并使来自所述储罐的所述化学品自循环；泄漏确定管线，所述泄漏确定管线被连接至所述循环管线并向所述循环管线供应气体；以及测量单元，所述测量单元测量供应至所述循环管线的气体的压力的变化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 用于供应化学品的设备、用于处理衬底的设备和方法
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