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一种高铝超纯合成石英砂的制备方法 

申请/专利权人:苏州西丽卡电子材料有限公司

申请日:2021-11-29

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN114044520B

主分类号:C01B33/12

分类号:C01B33/12

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.28#授权;2022.03.04#实质审查的生效;2022.02.15#公开

摘要:本发明公开了一种高铝超纯合成石英砂的制备方法,包括如下步骤:1、在反应釜中加入硅粉、甲醇和铜类化合物;2、对步骤1制备的TMOS溶液进行多次精馏;3、在精馏后的TMOS溶液中加入水、酸性催化剂和铝类化合物进行反应;4、对步骤3得到的二氧化硅溶胶体进行加热浓缩;5、对步骤4得到的石英砂前驱体进行烘干处理;6、对步骤5得到的石英块进行高温煅烧处理,然后进行冷却并破碎,进而得到石英颗粒;7、向石英颗粒中加入硅烷类改性剂进行表面改性处理。本发明直接采用硅粉作为主要原料合成石英砂前驱体,在合成前驱体过程中添加含铝化合物或氧化物进行复合合成,从而得到一定铝含量的超纯合成石英砂。

主权项:1.一种高铝超纯合成石英砂的制备方法,其特征是:包括如下步骤:1、在反应釜中加入硅粉、甲醇和铜类化合物,使其反应生成TMOS溶液;2、对步骤1制备的所述TMOS溶液进行多次精馏;3、在精馏后的TMOS溶液中加入水、酸性催化剂和铝类化合物进行反应,得到二氧化硅溶胶体,所述铝类化合物包括硝酸铝、氯化铝、硫酸铝、醋酸铝或丁醇铝;4、对步骤3得到的所述二氧化硅溶胶体进行加热浓缩,得到石英砂前驱体;5、对步骤4得到的所述石英砂前驱体进行烘干处理,得到石英块;6、对步骤5得到的石英块进行高温煅烧处理,然后进行冷却并破碎,进而得到石英颗粒;7、向所述石英颗粒中加入硅烷类改性剂进行表面改性处理,得到石英砂成品。

全文数据:

权利要求:

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