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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十一研究所

摘要：本发明提供了一种片上集成宽光谱频域太赫兹系统，包括：集成在同一半导体材料基底上的双波长可调谐激光器、处理模块、铌酸锂调制器、直线型光波导、发射电极和接收电极；双波长可调谐激光器发射的激光依次经过处理模块、铌酸锂调制器和直线型光波导后分别照射在发射天线与接收天线上；通过调谐双波长可调谐激光器的波长代替延迟线产生的光程差，得到太赫兹波电场的时域信号，实现太赫兹波的相干探测。

主权项：1.一种片上集成宽光谱频域太赫兹系统，其特征在于，包括：集成在同一半导体材料基底上的双波长可调谐激光器、处理模块、铌酸锂调制器、直线型光波导、发射电极和接收电极；双波长可调谐激光器发射的激光依次经过处理模块、铌酸锂调制器和直线型光波导后分别照射在发射天线与接收天线上；通过调谐双波长可调谐激光器的波长代替延迟线产生的光程差，得到太赫兹波电场的时域信号，实现太赫兹波的相干探测；所述双波长可调谐激光器包括：集成在同一芯片上的单波长DFB半导体激光器和可调谐激光器；所述可调谐激光器包括：阵列集成的DFB可调谐半导体激光器、硅光子芯片外腔窄线宽半导体激光器、四段式DBR可调谐半导体激光器和可调谐垂直腔面发射激光器；若可调谐激光器采用阵列集成的DFB可调谐半导体激光器，处理模块采用多波长干涉耦合器和半导体光放大器；阵列集成的DFB可调谐半导体激光器输出的激光经过多波长干涉耦合器合束后，经过半导体光放大器放大后进入铌酸锂调制器，通过对铌酸锂调制器偏执电压的调谐，进行激光的分束，分束后的激光分别进入直线型光波导，从直线型光波导输出的激光分别照射到发射天线和接收天线上，发射天线辐射出宽光谱太赫兹，接收天线对辐射出的太赫兹进行接收；若可调谐激光器采用阵列集成的DFB可调谐半导体激光器，处理模块采用半导体光放大器；阵列集成的DFB可调谐半导体激光器输出的激光经过聚焦镜和MEMS倾斜反射镜进行扩束、聚焦，然后经过半导体光放大器放大后进入铌酸锂调制器，通过对铌酸锂调制器偏执电压的调谐，进行激光的分束，分束后的激光分别进入直线型光波导，从直线型光波导输出的激光分别照射到发射天线和接收天线上，发射天线辐射出宽光谱太赫兹，接收天线对辐射出的太赫兹进行接收；若可调谐激光器采用硅光子芯片外腔窄线宽半导体激光器，处理模块采用多波长干涉耦合器和半导体光放大器；硅光子芯片外腔窄线宽半导体激光器输出的激光经过多波长干涉耦合器合束后，经过半导体光放大器放大后进入铌酸锂调制器，通过对铌酸锂调制器偏执电压的调谐，进行激光的分束，分束后的激光分别进入直线型光波导，从直线型光波导输出的激光分别照射到发射天线和接收天线上，发射天线辐射出宽光谱太赫兹，接收天线对辐射出的太赫兹进行接收；若可调谐激光器采用四段式DBR可调谐半导体激光器，处理模块采用多波长干涉耦合器和半导体光放大器；四段式DBR可调谐半导体激光器输出的激光经过多波长干涉耦合器合束后，经过半导体光放大器放大后进入铌酸锂调制器，通过对铌酸锂调制器偏执电压的调谐，进行激光的分束，分束后的激光分别进入直线型光波导，从直线型光波导输出的激光分别照射到发射天线和接收天线上，发射天线辐射出宽光谱太赫兹，接收天线对辐射出的太赫兹进行接收；若可调谐激光器采用可调谐垂直腔面发射激光器，处理模块采用多波长干涉耦合器和半导体光放大器；可调谐垂直腔面发射激光器输出的激光经过多波长干涉耦合器合束后，经过半导体光放大器放大后进入铌酸锂调制器，通过对铌酸锂调制器偏执电压的调谐，进行激光的分束，分束后的激光分别进入直线型光波导，从直线型光波导输出的激光分别照射到发射天线和接收天线上，发射天线辐射出宽光谱太赫兹，接收天线对辐射出的太赫兹进行接收。

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