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双面光伏电池及其制造方法 

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申请/专利权人:索拉昂德有限公司

摘要:本文公开了一种生产双面光伏电池的方法,该方法包括:在半导体基板的第二表面上形成含硼层;在含硼层上方形成盖层;同时实现:i在第一表面上沉积,以及ii使用POCl3气相工艺将磷扩散到其中,以及iii将硼扩散到基板的第二表面中,从而用n型掺杂剂掺杂第一表面并且用硼掺杂第二表面。

主权项:1.一种生产双面光伏电池的方法,所述方法包括:a)在半导体基板的第二表面上形成含硼层;b)在所述含硼层上方形成盖层;以及c)同时实现:使用POCl3蒸气作为围绕所述半导体基板的气相成分,在所述半导体基板的第一表面上沉积含磷层,在所述上述的气态气氛中,从所述含磷层磷扩散到所述基板中以形成n型掺杂层,将所述硼从所述含硼层扩散到所述半导体基板中以形成p+层。

全文数据:

权利要求:

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