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申请/专利权人：上海是杰工业技术有限公司
申请日：2023-10-12
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221238927U
主分类号：G01N33/00
分类号：G01N33/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本申请公开了一种配气环境标定系统。该系统包括气源系统、在线配比系统和老化架；所述气源系统包括防火柜、气体压缩机、冷干机，其中所述防火柜内设置高浓度气体罐和气源电磁阀，所述高浓度气体罐通过所述气源电磁阀与所述在线配比系统连接，所述气体压缩机通过所述冷干机与所述在线配比系统连接；所述在线配比系统包括配气柜、气体分析仪、流量计；所述老化架为密闭空间，所述老化架与所述流量计连通，所述老化架内设有多个用于固定待标定产品的放置区域。本申请能够实时在线配比不同浓度的混合气体，降低了生产成本，并设置三个相对密闭连接的气源系统、在线配比系统和老化架，避免了气体泄露造成的危害人员安全的风险，提高了生产安全。
主权项：1.一种配气环境标定系统，其特征在于，所述配气环境标定系统包括气源系统、在线配比系统和老化架；所述气源系统包括防火柜、气体压缩机、冷干机，其中所述防火柜内设置高浓度气体罐和气源电磁阀，所述高浓度气体罐通过所述气源电磁阀与所述在线配比系统连接，所述气体压缩机通过所述冷干机与所述在线配比系统连接；所述在线配比系统包括配气柜、气体分析仪、流量计；所述配气柜内设有目标气体供应管路、压缩空气供应管路、混合气体流量控制管路、储气罐；所述目标气体供应管路与所述防火柜的电磁阀连接，所述压缩空气供应管路与所述冷干机连接；所述混合气体流量控制管路包括第一量程流量控制器、第二量程流量控制器和控制器主机，所述第一量程流量控制器和所述第二量程流量控制器均电性连接至所述控制器主机；所述目标气体供应管路和所述压缩空气供应管路相连接后分别连接至所述第一量程流量控制器和所述第二量程流量控制器，所述第一量程流量控制器和所述第二量程流量控制器均通过所述储气罐连接至所述气体分析仪，所述气体分析仪连接至所述流量计；所述老化架为密闭空间，所述老化架与所述流量计连通，所述老化架内设有多个用于固定待标定产品的放置区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海是杰工业技术有限公司 一种配气环境标定系统
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