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光损伤阈值测试系统 

申请/专利权人:长沙麓邦光电科技有限公司

申请日:2024-04-09

公开(公告)日:2024-07-05

公开(公告)号:CN118294114A

主分类号:G01M11/02

分类号:G01M11/02

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开

摘要:本发明涉及光学技术领域,公开一种光损伤阈值测试系统,以便捷高效地测试和评估光学元件的LIDT值。系统包括:激光光源、光束准直装置、光强衰减装置、聚焦装置和位移台;光束准直装置位于激光光源与光强衰减装置之间,聚焦装置位于光强衰减装置与位移台之间;位移台受控于控制主机,控制主机与光功率计连接;控制主机用于控制装载被测光学元件的位移台沿光轴方向由前向后按步长移动,并在移动过程中,通过光功率计检测被测光学元件透射或反射后输出光束的光功率强度是否出现突变,如果突变,根据突变所在位置所对应的被测光学元器件表面的光束入射功率和光斑大小计算光损伤阈值。

主权项:1.一种光损伤阈值测试系统,其特征在于,包括:激光光源、光束准直装置、光强衰减装置、聚焦装置和位移台;其中,所述光束准直装置位于所述激光光源与所述光强衰减装置之间,所述聚焦装置位于所述光强衰减装置与所述位移台之间;所述位移台受控于控制主机,所述控制主机与光功率计连接;所述控制主机,用于加载相应的计算机程序以执行下述步骤:步骤S10、在确定所述激光光源和所述光强衰减装置与功率相关的参数后,先控制装载被测光学元件的所述位移台沿光轴方向由前向后按步长移动,并在移动过程中,通过光功率计检测被测光学元件透射或反射后输出光束的光功率强度是否出现第一次突变,如果存在突变,指令所述位移台停止并转步骤S20;如果直到最后端位置仍未出现突变,则进入下一循环,指令所述位移台返回最前端,并在重新调整所述激光光源和或所述光强衰减装置与功率相关的参数后,再指令所述位移台沿光轴方向由前向后按步长移动,直至被测光学元件透射或反射后输出光束的光功率强度出现第一次突变;步骤S20、记录该第一次突变时刻的位移距离,然后将被测光学元器件替换为光功率计,并维持出现第一次突变时所对应的所述激光光源和所述光强衰减装置与功率相关的参数不变,得到该第一次突变所在位置所对应的被测光学元器件表面的光束入射功率;步骤S30、根据第一次突变时刻的位移距离和光束入射功率,并结合所述聚焦装置的物理参数得出被测光学元器件的第一次测得的光损伤阈值。

全文数据:

权利要求:

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