龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中北大学
摘要：本发明公开了一种基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器及其加工方法，涉及MEMS在助听方面的应用技术领域，压电式仿生耳蜗纤毛感受器，包括基底和聚丙烯纤毛，基底包括金属铜上电极、聚偏氟乙烯薄膜与金属铝下电极，聚偏氟乙烯薄膜位于金属铜上电极与金属铝下电极之间，三者固定连接且外围呈方框状，外围的方框内部其中一对相对的边之间为波浪形状的纤毛固定梁，聚丙烯纤毛垂直固定于纤毛固定梁的中心处。本发明通过刻蚀以及腐蚀等工艺在上下具有金属电极铜和铝的PVDF薄膜上进行蚀刻，可以有效提高传感器的电压信号输出并且在体积更小，功耗更低的基础上实现耳蜗基底膜的频率分选功能，而且加工工艺简单，加工成本低廉。
主权项：1.一种基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器，其特征在于：包括基底和聚丙烯纤毛（1），所述基底包括金属铜上电极（2）、聚偏氟乙烯薄膜（3）与金属铝下电极（4），所述聚偏氟乙烯薄膜（3）位于金属铜上电极（2）与金属铝下电极（4）之间，所述金属铜上电极（2）、聚偏氟乙烯薄膜（3）与金属铝下电极（4）均固定连接且外围呈方框状，所述外围的方框内部其中一对相对的边之间为波浪形状的纤毛固定梁（5），所述聚丙烯纤毛（1）垂直固定于纤毛固定梁（5）的中心处；所述金属铜上电极（2）的厚度为1-15um；所述聚偏氟乙烯薄膜（3）的厚度为10-100um，长宽为800um*800um；所述金属铝下电极（4）的厚度为1-15um；所述聚丙烯纤毛（1）的高度为600um-950um，半径为25-50um；所述纤毛固定梁（5）的宽度在80um-120um之间，纵向位移长度为600um。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中北大学 基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器及其加工方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号