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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明公开了一种晶圆参考版图和SEM图像的自动匹配方法和系统，属于图像匹配技术领域。获取晶圆图案的SEM图像和参考版图图像并训练从SEM到版图风格图像的风格迁移模型，包括循环生成对抗网络、晶圆特征图案分割分支网络和晶圆图案线边缘检测分支网络，循环生成对抗网络中用于生成SEM、版图风格图像的生成器中的残差块数量与SEM、参考版图图像的图像熵成正比；训练阶段设计了循环生成对抗网络损失、基于重心分布图的位置一致性损失、基于轮廓信息的边缘保留损失；利用训练后的风格迁移模型将待匹配的SEM图像处理为类版图风格图像后再完成匹配过程。本发明解决了晶圆参考版图和SEM图像的匹配问题。
主权项：1.一种晶圆参考版图和SEM图像的自动匹配方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，获取晶圆图案的SEM图像和参考版图图像数据集，所述的SEM图像和参考版图图像无需配对；步骤2，构建从SEM到版图风格图像的风格迁移模型，包括循环生成对抗网络、晶圆特征图案分割分支网络和晶圆图案线边缘检测分支网络，所述的循环生成对抗网络包括两个生成器和两个判别器，所述的生成器采用基于残差块的网络结构，用于生成SEM风格图像的生成器和用于生成版图风格图像的生成器中的残差块数量与SEM图像、参考版图图像的图像熵成正比；所述的晶圆特征图案分割分支网络用于对真实图像和生成图像进行分割，将分割后的图像依次标号并生成对应的重心分布图；所述的晶圆图案线边缘检测分支网络用于对真实图像和生成图像进行晶圆图案线边缘检测，生成轮廓信息；步骤3，利用步骤1获取的图像数据集训练风格迁移模型，训练阶段采用的损失函数包括循环生成对抗网络损失、基于重心分布图的位置一致性损失、基于轮廓信息的边缘保留损失；步骤4，利用训练后的风格迁移模型将待匹配的SEM图像处理为类版图风格图像，将类版图风格图像与待匹配的参考版图图像进行匹配，根据匹配信息处理SEM图像并定位到对应参考版图位置上，完成SEM图像与参考版图之间的自动匹配过程。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种晶圆参考版图和SEM图像的自动匹配方法和系统
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