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申请/专利权人：中国电子技术标准化研究院
摘要：本发明属于微电子制造技术领域，且公开了一种套刻精度标准样片用定位装置及其定位方法，包括机架，所述机架内侧面顶端的中部固定安装有定位气缸，所述定位气缸输出端的底端等角度固定安装有定位磁铁，所述机架内侧面底端的中部固定安装有固定管，所述固定管的内部活动套接有调节板。本发明通过利用简单的放置过程，并配合定位气缸的伸长，即可自动完成多个支撑滚轮的相对靠近，将相互远离状态下的多个支撑滚轮进行靠近，来对标准样片的底端进行支撑，由于支撑滚轮的位移距离可供调节，使得装置可适应不同规格标准样片的稳定夹持支撑过程，不仅避免了传统装置缺乏支撑容易碎裂的问题，同时可提高装置的通用性。
主权项：1.一种套刻精度标准样片用定位装置，包括机架1，其特征在于：所述机架1内侧面顶端的中部固定安装有定位气缸3，所述定位气缸3输出端的底端等角度固定安装有定位磁铁4，所述机架1内侧面底端的中部固定安装有固定管5，所述固定管5的内部活动套接有调节板11，所述调节板11的顶端贯穿固定管5的顶端且固定连接有调节杆10，所述调节杆10的顶端固定连接有定位块8，所述定位磁铁4和定位块8之间设有标准样片7，所述定位块8的顶端等角度开设有定位槽18，所述定位槽18的位置与定位磁铁4的位置相互对应，所述标准样片7的上下两端分别与定位磁铁4的底端以及定位块8的顶端相接触，所述固定管5的外侧面等角度开设有限位槽6，所述调节板11与限位槽6之间活动卡接，所述调节板11相对限位槽6上下位移，所述定位块8外侧面且靠近底端的位置上均等角度安装有延长导轨9，所述延长导轨9的内部活动卡接有支撑微调组件17，所述支撑微调组件17和延长导轨9以及限位槽6的数量相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子技术标准化研究院 一种套刻精度标准样片用定位装置及其定位方法
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