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申请/专利权人：FEI公司
摘要：提供了带电粒子光学装置、系统和方法。带电粒子光学装置可以包括色散元件，该色散元件基本上设置在束轴上，并且被配置为在平行于束轴的色散平面中通过能量使带电粒子束的粒子分散。该带电粒子光学装置可以包括选择器，该选择器设置在束轴上，位于基本上对应于第一交叉平面的位置处。该带电粒子光学装置可以包括非色散元件。该带电粒子光学装置可以包括截止器件，该截止器件设置在位于选择器下游的束轴上，位于基本上对应于束轴上的第二交叉平面的位置处。第二交叉平面可以在第一交叉平面的下游。截止器件可以包括对电子不透明的材料，并且限定与束轴基本上对准的光圈。
主权项：1.一种带电粒子光学装置，包括：色散元件，所述色散元件设置在束轴上，并且被配置为在平行于所述束轴的色散平面中通过能量使带电粒子束的粒子分散；选择器，所述选择器设置在所述束轴上，位于基本上对应于第一交叉平面的位置处；非色散元件，其中所述非色散元件被配置为在所述色散平面中通过能量至少部分地使所述带电粒子束的粒子不分散；和截止器件，所述截止器件设置在位于所述选择器下游的所述束轴上，位于基本上对应于所述束轴上的第二交叉平面的位置处，所述第二交叉平面位于所述第一交叉平面的下游，所述截止器件包括对电子不透明的材料并且限定与所述束轴基本上对准的光圈。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI公司 用于使单色带电粒子源中的零损失峰变窄的技术
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