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申请/专利权人：英飞凌科技股份有限公司
摘要：一种用于检测目标流体的流体传感器，包括：用于发射宽带热辐射的多个热辐射发射器；被配置为引导从多个热辐射发射器发射的经发射的热辐射的波导结构，其中被引导的热辐射包括用于与包括目标流体的周围大气相互作用的倏逝场分量；耦合到波导结构的光学滤波器结构，其中光学滤波器结构被配置为对由热辐射发射器发射的宽带热辐射进行滤波并且提供具有中心波长的滤波热辐射；被配置为基于从波导结构接收的滤波热辐射的辐射强度来提供检测器输出信号的热辐射检测器；以及用于将多个热辐射发射器与电源连接的致动器件，电源用于在致动条件下向热辐射发射器提供电能，使得多个热辐射发射器具有在400至1300K之间的操作温度。
主权项：1.一种用于检测目标流体TF；TF1，TF2的流体传感器100，包括：多个热辐射发射器10-1，……，10-#，用于发射宽带热辐射R，波导结构20，被配置为引导从所述多个热辐射发射器10-1，……，10-#发射的经发射的热辐射R，其中被引导的所述热辐射R包括用于与包括所述目标流体TF的周围大气相互作用的倏逝场分量，光学滤波器结构30，耦合到所述波导结构20，其中所述光学滤波器结构30被配置为对由所述热辐射发射器10-1，……，10-#发射的所述宽带热辐射R进行滤波，并且提供具有中心波长λ0的滤波热辐射RF，热辐射检测器40，被配置为基于从所述波导结构20接收的所述滤波热辐射RF的辐射强度来提供检测器输出信号SOUT，以及致动器件50，用于将所述多个热辐射发射器10-1，……，10-#与电源60连接，所述电源60用于在致动条件下向所述热辐射发射器10-1，……，10-#提供电能，使得所述多个热辐射发射器10-1，……，10-#具有在400至1300K之间的操作温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英飞凌科技股份有限公司 用于检测目标流体的流体传感器
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