龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
摘要：本发明公开了一种等离子体产生装置和等离子体处理设备，涉及等离子体技术领域，其中，双电极等离子体产生装置包括：等离子体产生主体，所述等离子体产生主体包括进气通道、扩散组件和电极组件，所述进气通道具有进气口和出气口；所述电极组件、所述扩散组件沿第一方向依次设于所述进气通道内；所述电极组件，用于对流过的工艺气体进行电离以产生等离子体；所述扩散组件，用于对被电离后的工艺气体进行扩散。本发明提供的一种等离子体产生装置能够提高经电离得到等离子体的均匀一致性。
主权项：1.一种等离子体产生装置，其特征在于，包括：等离子体产生主体，所述等离子体产生主体包括壳体组件、扩散组件和电离组件，所述壳体组件形成有进气通道，所述进气通道具有进气口和出气口；所述电离组件，设于所述壳体组件上，所述电离组件包括电源装置和与所述电源装置电连接的电极组件，所述电极组件用于根据所述电源装置输出的电源对所述进气通道流过的气体进行电离以产生等离子体；所述扩散组件包括第一扩散板和第二扩散板，所述第一扩散板和所述第二扩散板沿所述进气口至所述出气口方向依次设置在所述进气通道内；所述电极组件设于所述进气口与所述第一扩散板之间，或者所述电极组件设于所述第一扩散板与所述第二扩散板之间，或者所述电极组件设于所述第二扩散板与所述出气口之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 等离子体产生装置和等离子体处理设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号