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申请/专利权人：英飞凌科技股份有限公司
摘要：示例公开了一种超声换能器0100，该超声换能器包括：换能器元件集合，该集合包括电容换能器元件0110和压电换能器元件0120，其中电容换能器元件0110和压电换能器元件0120在同一半导体管芯中被设置为横向分离。另外的示例公开了一种制造超声换能器0100的方法。
主权项：1.一种超声换能器0100，包括换能器元件集合，包括-电容换能器元件0110，以及-压电换能器元件0120，其中所述电容换能器元件0110和所述压电换能器元件0120被设置为在同一半导体管芯中横向分离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英飞凌科技股份有限公司 孪晶微机械超声换能器
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