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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
摘要：本发明涉及一种微机电压力传感器100，具有电容式压力传感器元件101，电容式压力传感器元件包括基座结构105、测量腔107和至少一个杠杆结构111，借助保护介质103覆盖基座结构，测量腔构造在基座结构中，测量腔具有测量膜片109，杠杆结构布置在基座结构上，杠杆结构具有杠杆梁115，杠杆梁以能翻转的方式悬挂在悬挂元件113上，杠杆梁的第一端部117固定在测量膜片上，在杠杆梁的第二端部119上构造有均衡元件121，通过杠杆结构的均衡元件能够均衡通过保护介质103施加到测量膜片109上的重力F。
主权项：1.微机电压力传感器100，所述微机电压力传感器具有电容式压力传感器元件101，其中，所述电容式压力传感器元件101包括基座结构105、测量腔107和至少一个杠杆结构111，所述基座结构借助保护介质103覆盖，所述测量腔构造在所述基座结构105中，所述测量腔具有测量膜片109，所述杠杆结构布置在所述基座结构105上，所述杠杆结构具有以能翻转的方式悬挂在悬挂元件113上的杠杆梁115，其中，所述杠杆梁115的第一端部117固定在所述测量膜片109上，其中，在所述杠杆梁115的第二端部119上构造有均衡元件121，其中，通过所述杠杆结构111的所述均衡元件121能够均衡通过所述保护介质103施加到所述测量膜片109上的重力F。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 微机电压力传感器
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