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申请/专利权人：株式会社理学

摘要：本发明的荧光X射线分析装置包括通过FP法计算试样13中的元素含有率的计算机构10，为了考虑不测定荧光X射线的非测定元素的影响，对于该计算机构10，作为由检测机构9测定强度的散射线，使用波长为0.05nm以上0.075nm以下的短波长侧的一次X射线的散射线以及波长为0.11nm以上0.23nm以下的长波长侧的一次X射线的散射线，同时，对于非测定元素中除氢以外的元素，假定平均原子序数，对于氢，假定其含有率。

主权项：1.一种荧光X射线分析装置，该荧光X射线分析装置包括：X射线源，该X射线源对试样照射一次X射线；检测机构，该检测机构测定由试样中的各元素产生的荧光X射线及一次X射线的散射线的强度；以及计算机构，该计算机构根据假定后的元素的含有率，计算由试样中的各元素产生的荧光X射线的理论强度，以使该理论强度与将由上述检测机构测定的测定强度换算成理论强度标度的换算测定强度一致的方式，逐次近似地修正计算上述假定后的元素的含有率，以计算试样中的元素的含有率；上述计算机构中，进行如下操作：为了考虑不测定荧光X射线的非测定元素的影响，作为由上述检测机构测定强度的散射线，使用波长为0.05nm以上0.075nm以下的短波长侧的一次X射线的散射线以及波长为0.11nm以上0.23nm以下的长波长侧的一次X射线的散射线，同时，对于上述非测定元素中除氢以外的元素，假定平均原子序数，对于氢，假定其含有率；通过求解针对通过上述检测机构测定强度的每条荧光X射线、每条散射线而生成的差分联立方程式，求出用于更新上述假定后的元素的含有率的修正值及用于更新上述假定后的平均原子序数的修正值，由此，以使理论强度与上述换算测定强度一致的方式，对各荧光X射线及各散射线逐次近似地修正计算上述假定后的元素的含有率及上述假定后的平均原子序数，以计算试样中的元素的含有率；在此时，作为上述散射线理论强度及测定强度，对于上述短波长侧一次X射线的散射线，使用一次X射线的特性X射线的康普顿散射线的理论强度及测定强度、一次X射线的特性X射线的康普顿散射线与汤姆逊散射线的理论强度比及测定强度比、或一次X射线的连续X射线的散射线的理论强度及测定强度；对于上述长波长侧一次X射线的散射线，使用一次X射线的特性X射线的汤姆逊散射线的理论强度及测定强度、一次X射线的特性X射线的康普顿散射线与汤姆逊散射线的合计理论强度及合计测定强度、或一次X射线的连续X射线的散射线的理论强度及测定强度。

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