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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及半导体光电探测器技术领域，尤其涉及一种镓酸锌薄膜及其制备方法，所述镓酸锌薄膜从下自上依次包括衬底，生长在衬底上的底部金属铂层，生长在所述底部金属铂层上的镓酸锌层；使用本发明的方法制备的镓酸锌薄膜，可以保证镓酸锌层致密平整，且可以利用底部的金属Pt作为底电极，易于制备垂直型肖特基器件；整体制备工艺简单，反应过程容易控制，为实现高性能日盲紫外光探测器提供了便捷有效的手段。
主权项：1.一种镓酸锌薄膜，其特征在于：所述镓酸锌薄膜从下自上依次包括衬底，生长在衬底上的底部金属铂层，生长在所述底部金属铂层上的镓酸锌层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种镓酸锌薄膜及其制备方法
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