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申请/专利权人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要:本发明涉及半导体光电探测器技术领域,尤其涉及一种镓酸锌薄膜及其制备方法,所述镓酸锌薄膜从下自上依次包括衬底,生长在衬底上的底部金属铂层,生长在所述底部金属铂层上的镓酸锌层;使用本发明的方法制备的镓酸锌薄膜,可以保证镓酸锌层致密平整,且可以利用底部的金属Pt作为底电极,易于制备垂直型肖特基器件;整体制备工艺简单,反应过程容易控制,为实现高性能日盲紫外光探测器提供了便捷有效的手段。
主权项:1.一种镓酸锌薄膜,其特征在于:所述镓酸锌薄膜从下自上依次包括衬底,生长在衬底上的底部金属铂层,生长在所述底部金属铂层上的镓酸锌层。
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权利要求:
百度查询: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种镓酸锌薄膜及其制备方法
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