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申请/专利权人：深圳金美新材料科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种导电薄膜电镀装置，包括：溶铜罐、缓冲槽、储液箱和工艺电镀槽；工艺电镀槽与储液箱之间以管路连接；溶铜罐配置有溶铜罐自循环管路，缓冲槽配置有缓冲槽自循环管路；溶铜罐与缓冲槽之间分别连接有第一出液管路和第一回流管路；缓冲槽与储液箱之间分别连接有第二出液管路和第二回流管路。本技术方案中，在溶铜罐与工艺电镀槽之间增设了缓冲槽、储液箱和过渡罐，取代了现有技术的溶铜罐与工艺电镀槽的直接循环，使得绝大部分的光亮剂分布于工艺电镀槽及缓冲槽中，避免了大量光亮剂进入溶铜罐而失效或被过滤罐过滤的情况，从而大幅降低了光亮剂消耗量，节约了生产成本。
主权项：1.一种导电薄膜电镀装置，其特征在于，包括：溶铜罐1、缓冲槽14、储液箱10和工艺电镀槽9；所述工艺电镀槽9与所述储液箱10之间以管路连接；所述溶铜罐1配置有溶铜罐自循环管路22，所述缓冲槽14配置有缓冲槽自循环管路15；所述溶铜罐1与所述缓冲槽14之间分别连接有第一出液管路20和第一回流管路4；所述缓冲槽14与所述储液箱10之间分别连接有第二出液管路11和第二回流管路7。
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权利要求：
百度查询： 深圳金美新材料科技有限公司 一种导电薄膜电镀装置
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