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申请/专利权人：吉林麦吉柯半导体有限公司
摘要：本申请提供一种测温支架、行星盘及薄膜设备，涉及薄膜制备技术领域。所述测温支架包括固定组件、调节组件、磁吸组件及连接件；固定组件通过连接件安装于行星盘的挂壁杆上；调节组件包括第一调节支架及第二调节支架，第一调节支架包括第一连接壁及第二连接壁，第二调节支架包括第三连接壁及第四连接壁；连接件通过第一位置调节孔将第一调节支架与固定组件连接，以实现第一调节支架在第一方向及第二方向上的位置调整；第二连接壁与第三连接壁通过第一位置调节孔及第二位置调节孔连接，以实现第二调节支架在第三方向上的位置调整；第四连接壁与磁吸组件连接，磁吸组件通过磁铁与测温表连接。如此，可以实现测温表在不同方向上的位置调整。
主权项：1.一种测温支架，其特征在于，包括：固定组件、调节组件、磁吸组件以及连接件；所述固定组件通过所述连接件安装于行星盘的挂壁杆上；所述调节组件包括第一调节支架及第二调节支架，所述第一调节支架包括第一连接壁及垂直于所述第一连接壁的一个侧边的第二连接壁，所述第二调节支架包括第三连接壁及垂直于所述第三连接壁的一个侧边的第四连接壁；所述第一连接壁设置有沿第一方向延伸的第一位置调节孔，所述连接件沿第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述连接件通过所述第一位置调节孔将所述第一调节支架与所述固定组件连接，以实现所述第一调节支架在所述第一方向及所述第二方向上的位置调整；所述第二连接壁设置有沿第三方向延伸的第二位置调节孔，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向均垂直，所述第三连接壁设置有沿所述第三方向延伸的第三位置调节孔，所述第二连接壁与所述第三连接壁通过所述第一位置调节孔及所述第二位置调节孔连接，以实现所述第二调节支架在所述第三方向上的位置调整；所述第四连接壁与所述磁吸组件连接，所述磁吸组件通过磁铁与测温表连接。
全文数据：
权利要求：
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