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申请/专利权人：黄剑鸣
摘要：本实用新型公开一种非晶硅薄膜转晶硅薄膜专用设备，其包括承载平台、平移装置及激光晶化装置；承载平台用于呈水平承载非晶硅薄膜；平移装置用于驱动承载平台沿X轴和Y轴移动；激光晶化装置用于对非晶硅薄膜进行加热晶化，激光晶化装置支撑架及设置于所支撑架上的波形输出器、激光发射器、反射镜及凸透镜组件，波形输出器用于控制激光发射器输出脉冲形式的激光，激光发射器所发出的激光经反射镜的反射垂直入射至凸透镜，入射至凸透镜的激光聚焦至承载平台上的非晶硅薄膜表面进行快速加热至晶化温度。本实用新型对成本低、工艺简单的非晶硅薄膜进行扫描式加热晶化处理，以使得最终大比例的形成晶硅薄膜，成本低和工艺简单。
主权项：1.一种非晶硅薄膜转晶硅薄膜专用设备，用于对非晶硅薄膜进行扫描式激光加热而转化成晶硅薄膜，其特征在于，包括：用于呈水平承载非晶硅薄膜的承载平台；用于驱动所述承载平台沿X轴和Y轴移动的平移装置，所述平移装置包括底座、X轴驱动件、X轴滑块、Y轴驱动件及Y轴滑块；所述X轴驱动件设置于所述底座上，所述X轴驱动件与所述X轴滑块连接并驱动X轴滑块沿X轴方向进行往复移动；所述Y轴驱动件设置于所述X轴滑块上，所述Y轴驱动件与所述Y轴滑块连接并驱动Y轴滑块沿Y轴方向进行往复移动，所述承载平台呈水平的设置于所述Y轴滑块上；X轴方向与Y轴方向位于同一水平面内且相互垂直；用于对非晶硅薄膜进行加热晶化的激光晶化装置，所述激光晶化装置包括支撑架及设置于所述支撑架上的波形输出器、激光发射器、反射镜及凸透镜组件，所述波形输出器与所述激光发射器电性连接用于控制激光发射器输出脉冲形式的激光，所述激光发射器呈水平设置，所述反射镜呈倾斜45°的正对所述激光发射器的光出口设置；所述凸透镜组件包括呈竖直滑动的设置于所述支撑架上的滑动支架及设置于所述滑动支架上的凸透镜，所述凸透镜位于所述反射镜的正下方，所述承载平台位于所述凸透镜的正下方；激光发射器所发出的激光经反射镜的反射垂直入射至凸透镜，入射至凸透镜的激光聚焦至承载平台上的非晶硅薄膜表面进行快速加热至晶化温度。
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权利要求：
百度查询： 黄剑鸣 非晶硅薄膜转晶硅薄膜专用设备
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