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申请/专利权人：天津环博科技有限责任公司

摘要：本发明创造提供了一种基于硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构，包括外部框架、安装在外部框架上的竖向移动模组、以及安装在移动模组上的片篮夹紧组；片篮夹紧组包括承载装置、安装在承载装置上的回弹装置、以及位于承载装置上方的扶正装置；承载装置滑动安装在竖向移动模组上，承载装置上设有承载底板，承载底板上放置有片篮盒，回弹装置安装在承载装置的侧壁上，回弹装置与承载板呈垂直状态，扶正装置安装在承载底板的上方，回弹装置与扶正装置配合将片固定在承载装置上。本发明创造所述的增强的机构结构简单，操作方便，多种定位实现片篮盒稳定运行，大大提高插片稳定性。

主权项：1.一种基于硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构，其特征在于：包括外部框架1、安装在外部框架1上的竖向移动模组2、以及安装在移动模组上的片篮夹紧组；所述片篮夹紧组包括承载装置、安装在承载装置上的回弹装置4、以及位于承载装置上方的扶正装置8；所述承载装置滑动安装在竖向移动模组2上，所述承载装置上设有承载底板34，所述承载底板34上放置有片篮盒，所述回弹装置4安装在承载装置的侧壁上，所述回弹装置4与承载板33呈垂直状态，所述扶正装置8安装在承载底板34的上方，所述回弹装置4与扶正装置8配合将片固定在承载装置上；所述承载装置包括稳定装置3、承载板33，所述竖向移动模组2包括拖链22、直线模组21，所述直线模组21上设有多个滑动块23，所述承载板33通过螺栓固定在滑动块23上，所述稳定装置3包括滚轮31、滚轮安装座32，所述滚轮安装座32设置在承载板33顶部，所述滚轮31安装在滚轮安装座32上，所述滚轮31直径大于承载板33厚度，所述滚轮31端面贴合于直线模组21的侧壁，所述框架上设有横梁83，所述拖链22一端安装在横梁83上，所述拖链22的另一端安装在其中一个滑动块23的侧壁上，其中一个滑动块23侧壁上安装有安装件24，所述拖链22的另一端通过螺栓安装在安装件24；所述回弹装置4包括主推板65、与主推板65连接的光轴41、以及套接在光轴41外壁的弹簧42，所述光轴41设有四个，四个光轴41一端分别固定在主推板65的四角上，所述承载板33四角上设有光孔，所述光轴41另一端贯穿承载板33的光孔，所述弹簧42套接在光轴41远离主推板65的一端，所述光轴41另一端设有凸边，所述弹簧42一端固定在凸边上，所述弹簧42另一端固定在承载板33的端面；所述承载板33上安装有移动装置6，所述移动装置6包括两个主滑块63、安装在两个主滑块63之间的移动板66、安装在移动板66上的第一三角块62，所述承载板33的侧壁上等距离的设有四个安装块，每两个安装块之间设有安装柱，所述主滑块63滑动安装在安装柱上，所述移动板66两端分别与两个主滑块63固定连接，所述第一三角块62位于移动板66的正上方，所述主推板65临近承载板33的侧壁上设有第二三角块64，所述第一三角块62、第二三角块64均为直角三角形，所述第二三角块64的长边端面与第一三角块62的长边端面贴合；竖向移动组通过固定在外部框架1上，所述扶正装置8与外部框架1平行设置，所述扶正装置8包括托板81、控制托板81的第二气缸82、以及用于支撑第二气缸82的横梁83，所述横梁83位于承载底板34的上方，所述横梁83通过螺栓固定在外部框架1上，所述第二气缸82滑动安装在横梁83上，所述托板81安装在气缸的杠杆上，所述托板81位于夹紧装置9的上方，所述托板81上设有滚轮31，所述滚轮31端面贴合于片篮盒7的侧壁。

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