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一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构 

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申请/专利权人:江苏索腾真空科技有限公司

摘要:本发明涉及一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构,属于镀膜机技术领域。包括固定筒和固定于镀膜机顶部的环形底盘,所述环形底盘上设置罩体,所述固定筒内穿设中空式定轴,所述固定筒和定轴穿设罩体,且穿过所述环形底盘伸入镀膜机真空膜腔;所述定轴内腔设有内转筒,所述内转筒能够在定轴内腔转动;所述内转筒外圆周上设有比较片加热单元,所述定轴底端设有比较片单元,所述比较片加热单元设于比较片单元上方,对比较片单元进行加热;所述内转筒内腔穿设晶控探头。本申请将晶控探头和比较片相结合,不仅提高了检测膜厚的精度,而且扩大了膜厚层数范围,增加了镀膜产品种类。

主权项:1.一种带光控系统的镀膜机膜片公转结构,其特征在于:包括固定筒和固定于镀膜机顶部的环形底盘,所述环形底盘上设置罩体,所述固定筒内穿设中空式定轴,所述固定筒和定轴穿设罩体,且穿过所述环形底盘伸入镀膜机真空膜腔;所述定轴内腔设有内转筒,所述内转筒能够在定轴内腔转动;所述内转筒外圆周上设有比较片加热单元,所述定轴底端设有比较片单元,所述比较片加热单元设于比较片单元上方,对比较片单元进行加热;所述内转筒内腔穿设晶控探头;所述比较片单元包括比较片和比较片托座,所述比较片托座和比较片分别套于内转筒上,且所述比较片设于比较片托座上,所述比较片托座底部开设透光孔,所述比较片上方设有透光板,所述透光板与透光孔相对应;所述比较片加热单元包括比较片加热盘,所述比较片加热盘设于内转筒上,所述定轴内腔穿设热电偶固定柱,所述热电偶固定于热电偶固定柱上,所述热电偶对定轴内部温度进行监测;所述内转筒顶部设置减速齿轮,所述减速齿轮与驱动齿轮相啮合,受伺服电机驱动所述驱动齿轮转动,带动减速齿轮转动,进而带动内转筒转动。

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权利要求:

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