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申请/专利权人：马丁科瑞半导体技术(南京)有限公司
摘要：本发明提供一种晶圆台蓝膜张紧方法及调整机构。包括底板、设置在底板上方的转盘、设置在底板内的调整块、连接底板以及转盘的导轮、设置在转盘上方的张紧座、与张紧座可拆卸连接的晶圆夹组件、环绕在转盘外侧的同步带、以及设置在所述底板上的晶圆台旋转驱动组件、张紧轮组件、传感器组件、拉伸弹簧、张紧驱动组件、传感器推送组件和总光电开关；所述拉伸弹簧连接所述传感器推送组件和张紧驱动组件；本发明实现全自动张紧蓝膜和晶圆角度调整。在通过使用同步带的设计，再配合推顶组件以及传感器组件使晶圆台保持高精度；并且使用方便简单。
主权项：1.一种晶圆台蓝膜张紧调整机构，其特征在于：所述调整机构包括底板1、设置在底板1上方的转盘2、设置在底板1内的调整块3、连接底板1以及转盘2的导轮4、设置在转盘2上方的张紧座5、与张紧座5可拆卸连接的晶圆夹组件6、环绕在转盘2外侧的同步带7、以及设置在所述底板1上的晶圆台旋转驱动组件8、张紧轮组件9、传感器组件10、拉伸弹簧11、张紧驱动组件12、传感器推送组件13和总光电开关14；所述拉伸弹簧11连接所述传感器推送组件13和张紧驱动组件12；所述同步带7依次缠绕过晶圆台旋转驱动组件8、张紧轮组件9、传感器组件10、张紧驱动组件12、传感器推送组件13和总光电开关14。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 马丁科瑞半导体技术(南京)有限公司 一种晶圆台蓝膜张紧方法及调整机构
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