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电子气体分析的预处理装置 

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申请/专利权人:唐山三孚电子材料有限公司

摘要:本实用新型公开一种电子气体分析的预处理装置,包括汽化罐和分离罐,汽化罐下部分别与进料管线和高纯气体吹扫置换管线连接,管线上设置气动隔膜阀,汽化罐上部与分离罐连接,汽化罐和分离罐之间设置有气动隔膜阀,分离罐的气相出管与去色谱分析管路连接,气相出管上设置有调压阀,调压阀的前后端均设置有压力传感器,去色谱分析管路上设置有手动隔膜阀、气体过滤器和气动隔膜阀。与现有技术相比,本实用新型电子气体分析的预处理装置能够控制液体的进量,将液体连续完全汽化,并在汽化罐内均匀分布,在汽化器后端设置分离罐,未完全汽化的微小液体在分离罐内分离,确保进入分析系统的样品是气体状态,增加了色谱分析的稳定性和准确性。

主权项:1.一种电子气体分析的预处理装置,包括汽化罐(1)和分离罐(2),其特征在于,汽化罐(1)下部设置有物料进口,物料进口分别与进料管线和高纯气体吹扫置换管线连接,进料管线和高纯气体吹扫置换管线上分别设置有第二气动隔膜阀(5)和第四气动隔膜阀(9),汽化罐(1)上部设置物料出口,物料出口与分离罐(2)连接,汽化罐(1)和分离罐(2)之间设置有第五气动隔膜阀(10),分离罐(2)的气相出管(26)与去色谱分析管路(23)连接,气相出管(26)上设置有调压阀(12),调压阀(12)的前后端分别设置有第一压力传感器(11)和第二压力传感器(13),去色谱分析管路(23)上设置有第二手动隔膜阀(14)、气体过滤器(15)和第六气动隔膜阀(16)。

全文数据:

权利要求:

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